Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio (1981)
Unidade: EPABNT
ENGEL, Paulo Martins. Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio. 1981. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1981. . Acesso em: 02 maio 2024.APA
Engel, P. M. (1981). Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo.NLM
Engel PM. Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio. 1981 ;[citado 2024 maio 02 ]Vancouver
Engel PM. Captura de impurezas metálicas em silício por camadas implantadas com argônio. 1981 ;[citado 2024 maio 02 ]